Plasma

等离子体是能 够进行表面改性的电中性混合物活性气相物质。 表面改性是 气相活性物质与固体表面之间相互作用的结果。 等离子体 内的活性物质是通过离子辅助溅射和通过自由基和副产物化学反应的化学作用。
Ar 是广泛使用的低费用、氧化防止功能优越的常用等离子方式。

 
 

等离子原理

 

阿尔贡普拉兹马是?

 

Ar 是广泛使用的低费用、氧化防止功能优越的常用等离子方式。 Plasma Etch工艺中使用的气体一般均可切换为氩气使用。 Ar 等离子 PE-75 等离子机的氩气等离子 氩气一般与氧气一起使用与金属或非金属表面的异物。氩气等离子方式不易损坏对象物的表面且有效去除异物。 也可适用于非有机物体的去除工艺中。 Ar 等离子可清洁塑料物体的表面,优点在于不损坏塑料表面的同时有效去除表面异物。

通过等离子可有效去除有机物质,被去除的异物将通过真空系统排除到机箱外部。 氩气等离子方式不会使表面氧化且广泛使用与包括 Wire Bonding 的金属洗净工艺中。

氩气的其他用途

 

氩气在清洗金属基板表面工艺中与氧气混合使用。 此混合气体广泛使用于贴附工艺的前段工艺。氩气原子可防止氧气原子氧化金属基板。 氧气的化学反应活泼且可有效将表面活性化,但很容易使金属被氧化。氩气可有效破坏金属表面和氧气的化学结合。 氩气也可使用在产品蚀刻以后的工序。氩气有效去除表面残留物。  等离子清洗工艺是广泛用于基板表面清洁行业中的工艺。

Samco 等离子清洗剂可使用于研究和生产。 桌面型清洗机的特点是安装空间比较狭窄,可通过多个平台同时处理多张基板。 基于H2O的等离子清洗机可用于清洁 Polymer 表面。  又可用于Polymer结合、铜银产品的清洁。 我司大型 Chamber – 等离子清洗机适合使用于面板背面图层的去除工艺中。